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云南供應日本HORIBA流量計選型
  • 云南供應日本HORIBA流量計選型

  • 產品分類:
  • 展開更多評論2024-2-25 12:55:33
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云南供應日本HORIBA流量計選型

· 適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制· 適用于廣泛的用途:在普通產業市場中,擁有眾多的銷售業績,引以為豪。· 低成本:產品陣容中有力求具有成本優勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業的工程項目研究,諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分,更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標,我們已成功開發了一系列的分析設備,液體控制和監測系統已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段,從材料分析到檢查,HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。

 

HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理 常見的壓力控制器是UR-Z700系列,一款數字式自動壓力調節器。根據不同用途,該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調節器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中,當供氣壓力突然發生變化時,管道或罐體內的壓力也隨之發生變化,這不僅會影響整條管路流量的穩定,甚至可能會對整臺設備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發出UR-Z700系列,通過響應,高精度,穩定控制的性能來調整管路壓力。即使面對這種情況,只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩定的控制壓力,并確保氣體質量流量控制器及反應源液的穩定運行。 

 

 

  UR系列產品為使用高精度壓力傳感器及,響應迅速壓電陶瓷閥的數字式調節器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額。 HoribaZ700系列的產品特征: 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS處理

 

 

  HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產品以控制氣體供應系統中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門,主要運用包括:晶圓冷卻系統中控制氦氣壓力以降低熱損害,氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩定工作,反應源液罐體后端控壓以罐內壓力穩定在范圍。這些器件的研發及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。    常見的壓力控制器UR-Z700系列  HoribaZ700系列的產品概要:

 

 

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。

質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規格齊全,同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統,對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。

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